Phụ lục A

(Quy định)

Phép thử rò rỉ mạch dầu

Phép thử rò rỉ dùng để kiểm tra xác nhận rằng các phần tử lọc không có rò rỉ, có nghĩa là các giá trị thấu qua cục bộ lớn hơn mức giới hạn cho phép [xem TCVN 11487-1:2016 (ISO 29463-1:2011), Bảng 1]. Phép thử rò rỉ mạch dầu có thể được tiến hành như một phương pháp thử nghiệm rò rỉ thay thế cho phin lọc nhóm H. Tuy nhiên, tài liệu tham khảo về phép thử rò rỉ này, có thể xem phương pháp quét số đếm hạt như đã mô tả trong nội dung chính của tiêu chuẩn này. Phép thử rò rỉ mạch dầu cũng được chấp nhận như một quy trình thử nghiệm về hình dạng phin lọc mà các phương pháp quét không áp dụng được (ví dụ: các phần tử lọc có khung hình chữ V hoặc phin lọc hình trụ). Để áp dụng đúng phương pháp này, xem Bảng 2 của TCVN 11487-1:2016 (ISO 29463-1:2011).

Phép thử rò rỉ mạch dầu là phương pháp thử định tính mà không có sự rò rỉ được quan sát trực quan. Vì vậy, cần tiến hành đào tạo thường xuyên cho các nhân viên thử nghiệm và để kiểm tra xác nhận độ nhạy của quy trình và phương pháp tại các khoảng thời gian đều đặn bằng cách sử dụng các phần tử lọc tham chiếu có các rò rỉ đã xác định rõ, được đặc trưng bởi phương pháp thử nghiệm quét tham chiếu. Sự thấu qua cục bộ của rò rỉ trong các phần tử lọc tham chiếu phải ở trong các giá trị giới hạn đối với loại phin lọc đã định trong Bảng 1 của TCVN 11487-1:2016 (ISO 29463-1:2011) và gấp đôi giá trị giới hạn tương ứng tối đa.

Trong thiết lập phép thử, phin lọc phải chịu dòng sol khí giọt dầu đa phân tán với tốc độ khoảng 1,3 cm/s (42 m³/m²h), mà có thể được thay đổi để tối ưu hóa quy trình. Phin lọc phải được đặt nằm ngang trên một miệng một khuếch tán hoặc một hộp. Bộ lắp ráp phin lọc thử nghiệm phải đảm bảo rằng phin lọc thử nghiệm phải kín và chịu được dòng phù hợp với các yêu cầu và phải không cản trở bất kỳ phần nào của mặt cắt ngang phin lọc.

Sol khí thử nghiệm đa phân tán phải được tạo ra bằng cách phun sương từ một chất sol khí thể lỏng phù hợp với 4.1 của TCVN 11487-2:2016 (ISO 29463-2:2011). Giá trị trung bình của đường kính hạt phải nằm trong khoảng từ 0,3 μm đến 1,0 μm. Nồng độ khối lượng phải là 1,5 g/m³, được xác định bằng phương pháp trọng lực.

Phía sau phin lọc phải được chiếu sáng từ trên xuống theo phương thẳng đứng bằng ánh sáng huỳnh quang trắng (≥ 4 000 K) hoặc đèn halogen. Độ sáng của đèn phải > 1 000 Lx tại mặt phẳng làm việc. Xung quanh phin lọc phải tối và phông quan sát phải có màu đen. Các dòng không khí không kiểm soát được từ môi trường xung quanh phải được sàng lọc ra.

...

...

...

Vị trí và độ sáng của đèn có thể được thích ứng theo cảm nhận chủ quan của người kiểm tra bằng cách sử dụng các phần tử lọc tham chiếu với rò rỉ đã định rõ được đặc trưng bằng phương pháp quét thử nghiệm. Khuyến nghị rằng phin lọc tham chiếu được sử dụng với rò rỉ đã định rõ trong vật liệu, ở các góc khung và trong vật liệu, gần với chất làm kín.

Báo cáo thử nghiệm của phép thử mạch dầu phải gồm ít nhất như sau:

- Các chi tiết của phin lọc thử nghiệm (loại, kích thước, số nhận dạng, dữ liệu kỹ thuật danh nghĩa);

- Các chi tiết về các thông số thử nghiệm (vận tốc dòng, sol khí thử nghiệm, đường kính hạt trung bình và nồng độ khối lượng của sol khí thử nghiệm);

- Người thực hiện thử nghiệm và ngày thử nghiệm;

- Kết quả thử nghiệm (khẳng định sự không có sự rò rỉ).

Trên báo cáo thử nghiệm phải nêu rõ rằng phin lọc đã được thử bằng phương pháp thử theo Phụ lục A.

Phụ lục B

(Quy định)

...

...

...

B.1  Đặt vấn đề

Phép thử rò rỉ này là để xác minh rằng các phần tử lọc không có rò rỉ. Phép thử quét quang kế sol khí có thể được tiến hành như phương pháp thử nghiệm rò rỉ thay thế cho phin lọc nhóm H. Sử dụng các quang kế sol khí để thử rò rỉ của các phin lọc HEPA và ULPA đối với một số ngành công nghiệp lọc. Việc sử dụng quang kế sol khí để nhà máy thực hiện phép thử quét do nhà máy có thể cung cấp mối tương quan gần giống như thiết bị được sử dụng trong các tình huống thử nghiệm rò rỉ phin lọc HEPA và ULPA in-situ.

B.2  Yêu cầu chung

Điều thiết lập cơ sở cho việc lựa chọn các điều kiện để thực hiện phép thử rò rỉ của phin lọc với quang kế sol khí. Việc chọn các điều kiện thử nghiệm cụ thể là vấn đề thỏa thuận giữa nhà cung cấp với khách hàng. Thỏa thuận này cần quy định như sau:

- Quang kế sol khí đang được sử dụng và thời gian đáp ứng của nó không đổi;

- Vận tốc dòng không khí đầu ra của phin lọc, mà tại đó phép thử rò rỉ được thực hiện; trừ khi có quy định khác, vận tốc dòng không khí đầu ra là (0,45 ± 0,05) m/s;

- Vật liệu kiểm chứng và phương pháp tạo sol khí;

- Thấu qua sự rò rỉ tiêu chuẩn được ấn định (xem Bảng 1 của TCVN 11487-1:2016 (ISO 29463-1:2011);

- Tốc độ quét tối đa: tốc độ quét tối đa khi sử dụng đầu đo hình vuông không được vượt quá 3 m/min (5 cm/s), trừ khi có quy định khác. Với đầu đo hình chữ nhật, tốc độ quét diện tích tối đa không được vượt quá 0,093 m²/min, trừ khi có quy định khác.

...

...

...

Quy trình thử này là một phương pháp tiêu chuẩn công nghiệp để định ra các khiếm khuyết trong phin lọc hoặc các hệ thống lọc.

CHÚ THÍCH: Như đã trình bày trong tiêu chuẩn này, quy trình đã được cải biên để tính toán cho thời gian đáp ứng của quang kế và cho các đầu đo hình chữ nhật.

Phép thử này đưa ra các kết quả định tính và định lượng trong việc nhận dạng các rò rỉ. Phép thử này có thể dễ dàng được tái lập. Việc tạo ra nồng độ phù hợp của sol khí chất lỏng để kiểm chứng với hầu hết các hệ thống không phải là khó. Nồng độ khoảng từ 10 μg/L đến 90 μg/L không khí là kiểm chứng hợp lý.

THẬN TRỌNG - Khi hệ thống thử nghiệm hoặc thiết bị làm sạch không khí được bố trí trong môi trường không sạch, hoặc trong phòng sạch một phần, thì sol khí từ không gian xung quanh có thể gây nhiễu các phép thử rò rỉ.

B.3  Máy móc và thiết bị dụng cụ

B.3.1  Máy tạo sol khí vòi phun Laskin hoặc nguồn sol khí khác phù hợp với quang kế sol khí.

B.3.2  Máy tạo sol khí đa nhiệt, tạo ra sol khí thể lỏng bằng quá trình ngưng tụ bay hơi khi không có hạt nhân được kiểm soát.

Sự phân bố cỡ hạt và đường kính trung bình khối lượng (MMD) của sol khí tạo ra bằng máy phát nhiệt thường nhỏ hơn so với sự phân bố cỡ hạt và đường kính trung bình của sol khí tạo ra bằng vòi phun Laskin.

B.3.3  Quang kế sol khí, có hệ thống đọc logarit hoặc tuyến tính (xem định nghĩa trong 3.6), với lưu lượng mẫu 28,3 L/min và thời gian đáp ứng ổn định đã biết.

...

...

...

Kích thước, D_p, của độ mở lối vào đầu đo song song với hướng quét không được nhỏ hơn 6 mm. Kích thước, W_p, của độ mở lối vào đầu đo vuông góc với hướng quét được xác định từ lưu lượng mẫu. Phần chuyển tiếp của đầu đo, phần từ giữa lối vào và nối với ống dẫn cần có chiều dài tổng thể, T_L, ít nhất là bằng với kích thước tối đa, W_p, của lối vào đầu đo.

B.4  Quy trình

B.4.1  Nguyên tắc

Thử nghiệm này được thực hiện bằng cách đưa sol khí kiểm chứng đã quy định trước phin lọc và tìm kiếm rò rỉ bằng quét phía sau phin lọc của phin lọc với đầu đo quang kế.

B.4.2  Kích thước lối vào đầu đo lấy mẫu

Kích thước lối vào đầu đo lấy mẫu, a_p, song song với hướng quét, cần được tính từ lưu lượng mẫu của quang kế và vận tốc dòng khí tại lối ra của phin lọc, sao cho vận tốc không khí tại lối vào của đầu đo xấp xỉ vận tốc trung bình dòng khí tại lối ra của phin lọc khoảng ±10 %, theo Công thức (B.1).

(B.1)

Trong đó:

...

...

...

V là vận tốc dòng không khí trung bình tại đầu ra của phin lọc;

W_p là kích thước đầu đo vuông góc với hướng quét.

Tốc độ quét tuyến tính liên quan đến tốc độ quét diện tích như được nêu theo Công thức (B.2):

(B.2)

Trong đó:

S_r là tốc độ quét tuyến tính, tính bằng cm/s;

A_r là tốc độ quét.

B.4.3  Lắp đặt

...

...

...

B.4.3.2  Sol khí cần được đưa vào không khí cung cấp cho phin lọc hoặc những phin lọc trong phép thử theo cách sao cho có nồng độ kiểm chứng đồng đều trên toàn bộ bề mặt của từng phin lọc. Sự tiếp xúc tối thiểu của phin lọc với sol khí.

B.4.3.3  Cần kiểm tra xác nhận sự đồng đều của sol khí kiểm chứng phù hợp với 6.2.4.

B.4.3.4  Nồng độ của sol khí kiểm chứng cần được đo tại vị trí lấy mẫu đại diện trước phin lọc, sử dụng quang kế có độ nhạy được điều chỉnh đến đường nền 100 μg/L theo hướng dẫn của nhà sản xuất hoặc theo đường hiệu chuẩn, cần thu được số đọc từ 10 % đến 90 % (tương ứng với 10 μg/L đến 90 μg/L không khí) trên quang kế với nồng độ kiểm chứng chính xác. Nồng độ trước phin lọc phải ổn định theo khoảng thời gian, mà trong khoảng thời gian đó bốn số đọc liên tiếp cách nhau 1 min nằm trong khoảng 15 % trung bình của các số đọc.

- Nếu một mẫu đại diện trước phin lọc không có sẵn, xem Phụ lục H.

- Nếu số đọc cao, có thể cần giảm nồng độ của sol khí kiểm chứng để giới hạn sự tiếp xúc của phin lọc thử nghiệm với vật liệu kiểm chứng. Ngược lại, nếu số đọc thấp, cần tăng số lượng sol khí để duy trì độ nhạy đối với các rò rỉ nhỏ.

- Sau khi thu được số đọc chính xác, điều chỉnh độ nhạy của quang kế, độ khuếch đại hoặc biên độ đối với số đọc 100 % hoặc thang đo đầy đủ trong khi lấy mẫu sol khí trước phin lọc.

B.4.3.5  Toàn bộ bề mặt của từng phin lọc cần được quét về rò rỉ, sử dụng vạch chồng sát nhau của đầu đo và di chuyển đầu đo với tốc độ không vượt quá tốc độ quét tối đa.

Đồng thời quét chu vi của từng phin lọc để định vị các rò rỉ trong sự liên kết giữa bao gói phin lọc và khung và để định vị trí rò rỉ tại nơi gắn kín giữa khung và kết cấu phụ trợ. Trong quá trình quét cần để đầu đo cách vật liệu lọc khoảng 25 mm.

B.4.3.6  Các rò rỉ có thể xảy ra trong khi quét được chỉ thị qua tín hiệu phản ứng của quang kế bằng hoặc lớn hơn so với phản ứng thấu qua. Độ thấu qua tối đa, P_m, được chỉ thị khi đầu đo được quét qua rò rỉ có kích thước của rò rỉ được chỉ định, được tính theo Công thức (B.3):

...

...

...

(B.3)

Trong đó:

L_s là độ thấu qua rò rỉ chuẩn của một rò rỉ chỉ định, được biểu thị bằng tỷ lệ nồng độ trước phin lọc, ví dụ: 0,01 % = 0,000 1;

a_p là kích thước đầu đo song song với hướng quét, tính bằng cm;

S_r là tốc độ quét tuyến tính tối đa, tính bằng cm/s;

T_c là hằng số thời gian đáp ứng của quang kế được sử dụng để quét (nghĩa là lắp đặt như nhau, đường ống giống nhau v.v...).

Nếu giá trị P_m tính được nhỏ hơn ba lần độ nhạy tối thiểu của quang kế, hoặc nếu P_m nhỏ hơn 0,1 lần L_s, khi đó cần chọn tốc độ quét tối đa chậm hơn, S_r và để tính giá trị P_m mới.

Nếu người vận hành quan sát đồng hồ đo trong quá trình quét để phát hiện rò rỉ, thì bất kỳ chỉ thị nào của đồng hồ đo bằng hoặc lớn hơn P_m được coi là có chỉ thị rò rỉ. Nếu lắp đặt báo động được sử dụng để báo hiệu cho người vận hành hoặc hệ thống quét tự động, khi đó mức đồng hồ cần được đặt ở giá trị P_m. Bất kỳ chỉ thị rò rỉ bằng hoặc lớn hơn P_m cũng có nguyên nhân là thời gian lưu lại trên đầu đo tại địa điểm rò rỉ lâu. Kích thước và địa điểm của rò rỉ được nhận dạng bằng vị trí của đầu đo mà có số đọc duy trì tối đa trên quang kế.

Nếu không tuân thủ các quy trình về P_m, thì kết quả thường là các rò rỉ gần với kích thước rò rỉ đã chỉ định bị bỏ qua trong khi các rò rỉ lớn hơn vẫn được phát hiện.

...

...

...

B.5  Tiêu chí rò rỉ - Chấp nhận đối với phép thử quét phin lọc đo quang kế sol khí

Xem Bảng 1 trong TCVN 11487-1:2016 (ISO 29463-1:2011) về giá trị thấu qua cục bộ. Các yêu cầu tích hợp phin lọc thay thế là vấn đề cần thỏa thuận giữa nhà cung cấp và khách hàng.

B.6  Sửa chữa đối với phin lọc thử nghiệm quét

Kích thước của sửa chữa cần được giới hạn như sau.

a) Sử dụng vật liệu có thể chấp nhận được để áp dụng.

b) Tổng tất cả các sửa chữa (bao gồm cả sửa chữa được thực hiện bởi nhà sản xuất phin lọc) phải không được chặn hoặc hạn chế quá 0,5 % diện tích bề mặt lọc (không bao gồm khung) và chiều dài tối đa của mỗi lần sửa chữa không được vượt quá 3,0 cm. Tiêu chí sửa chữa thay thế có thể được thỏa thuận khác giữa nhà cung cấp và khách hàng.

c) Sau khi sửa chữa hoàn tất, kiểm tra rò rỉ ở lân cận vùng sửa chữa. Sửa chữa rò rỉ phin lọc có thể được thực hiện bằng các quy trình được chấp nhận đối với nhà cung cấp và khách hàng.

B.7  Báo cáo

Đối với phin lọc nhóm H, kích thước rò rỉ chỉ định là giá trị thấu qua cục bộ được nêu trong Bảng 1 của TCVN 11487-1:2016 (ISO 29463-1:2011), trừ khi có quy định khác. Báo cáo tất cả các rò rỉ có số đọc tĩnh vượt quá như sau:

...

...

...

b) Đối với quang kế số đọc logarit, số đọc lớn hơn giá trị thấu qua cục bộ trên dụng cụ đo với thang đo đọc trực tiếp hoặc đọc tương đương trên đường hiệu chuẩn của thiết bị phù hợp với Bảng 1 của TCVN 11487-1:2016 (ISO 29463-1:2011) hoặc khi có thỏa thuận khác;

c) Đối với phin lọc nhóm U, xem Bảng 1 của TCVN 11487-1:2016 (ISO 29463-1:2011) đối với các giá trị khác.

Phụ lục C

(Quy định)

Xác định các thông số thử nghiệm

Trước khi bắt đầu phép thử, các thông số thử phải được tính trên cơ sở các điều kiện biên đã quy định và dữ liệu của phin lọc thử nghiệm. Việc tính toán có thể dẫn đến các thông số mà không thể đạt được, nếu cần, phải tiến hành quá trình tính lặp lại với sự thay đổi dữ liệu đầu vào.

Tất cả các giá trị đã cho về số hạt và nồng độ số lượng liên quan đến dải cỡ hạt bao trùm sol khí thử nghiệm đơn phân tán hoặc dải cỡ hạt được sử dụng để xác định hiệu suất phin lọc với sol khí đa phân tán (xem 8.5.3).

C.1  Các điều kiện biên

Các điều biên hạn sau đây được áp dụng:

...

...

...

A_p= 9 cm² ± 1 cm²

Số hạt tối thiểu cho một tín hiệu rò rỉ

N_min,95% = 5

(giới hạn dưới của khoảng tin cậy 95 %)

Giá trị số hạt được dự kiến sẽ vượt qua rò rỉ:

N_min,leak =10

Số hạt tối thiểu về phía sau phin lọc để xác định hiệu suất

N_min,abs = 100

...

...

...

u_p < 10cm/s

C.2  Dữ liệu phin lọc thử nghiệm

Các dữ liệu sau đây về phin lọc thử nghiệm phải được xem xét khi xác định các thông số thử nghiệm.

Loại phin lọc phù hợp với TCVN 11487-1 (ISO 29463-1), được đặc trưng bởi các giá trị giới hạn sau đây về sự thấu qua:

- Giá trị tổng thể:

P_class,i.

- Giá trị cục bộ:

P_class,I;

- Tốc độ lưu lượng thể tích danh nghĩa:

...

...

...

- Diện tích bề mặt phin lọc:

A_d.

C.3  Dữ liệu về thiết bị

C.3.1  Máy đếm hạt

Các dữ liệu máy đếm sau đây liên quan đến các máy đếm hạt được áp dụng:

- Lưu lượng thể tích lấy mẫu:

V_s ;

- Nồng độ tối đa:

c_max,c;

...

...

...

M.

Thay vì tốc độ đếm “zero” của máy đếm [xem TCVN 11487-2 (ISO 29463-2)], ở đây phải biết tốc độ đếm “zero” của toàn bộ hệ thống phía sau phin lọc. Tốc độ đếm của máy đếm sau phin lọc được xác định với phin lọc thử nghiệm tại chỗ và khi tắt máy tạo sol khí. Tốc độ đếm “zero” của thiết bị thử nghiệm bao gồm cả tạp chất trong không khí thử nghiệm và có thể giải phóng hạt.

Tốc độ đếm tối thiểu (dòng hạt) của máy đếm về phía sau phin lọc được xác định từ tốc độ đếm “zero” của máy đếm theo Công thức (C.1):

N _min,c = 10.N _zero

(C1)

Trong đó:

N _min,c là tốc độ đếm tối thiểu của máy đếm hạt sau phin lọc;

N_zero là tốc độ đếm “zero" của hệ thống ở phía sau phin lọc.

C.3.2  Đầu đo lấy mẫu sau phin lọc

...

...

...

Việc sử dụng các đầu đo với mặt cắt ngang hình tròn sẽ gặp phải một số vấn đề. Ví dụ, thời gian đi qua vị trí rò rỉ phụ thuộc vào vị trí rò rỉ liên quan đến đầu đo, do đó việc phát hiện rò rỉ đáng tin cậy không thể được đảm bảo khi không có sự trùng lặp ngẫu nhiên giữa các lần chạy qua. Đối với đầu đo hình tròn, sự chồng chéo của 20 % đường kính đầu đo thường dẫn đến các con số hợp lý đối với a_p.

Đối với các đầu đo với mặt cắt ngang hình chữ nhật, cần xét đến một số vấn đề sau đây. Tuy nhiên, việc tính toán được áp dụng theo cách tương tự như với đầu đo hình tròn.

Kích thước đầu đo được quy định như sau:

- Chiều dài bên trong theo hướng quét:

a_p;

- Chiều dài bên trong vuông góc với hướng quét:

w_p.

C.3.3  Hệ số thất thoát

Tốc độ đếm tối thiểu về rò rỉ đã quy định trong C.1 cũng phải đạt được nếu rò rỉ ở cạnh của đường đo. Do đó, dự kiến tốc độ đếm trung bình, N_min, đối với rò rỉ tại tâm của đường đo là cao hơn, như Công thức (C.2).

...

...

...

(C.2)

Trong đó:

N_{min, leak} là số hạt tối thiểu dự kiến đối với rò rỉ;

k_b là hệ số thất thoát rò rỉ ở các mép đường đo.

Trong trường hợp các đường đo chạm nhau nhưng không chồng lên nhau, thì hệ số thất thoát có thể là k_b = 0,5. Trong trường hợp này, tốc độ đếm tối thiểu cho một rò rỉ N_min = 20. Khi chồng lên nhau, thì giá trị hệ số thất thoát có thể tăng lên. Trong trường hợp nghi ngờ, nên xác định thực nghiệm hệ số thất thoát bằng đầu đo tĩnh.

C.4  Trình tự các bước tính toán

Hình C.1 đưa ra sơ đồ về cách tính các thông số thử nghiệm. Điều này cho thấy rõ ràng rằng nếu các thông số không phù hợp với các yêu cầu hoặc chênh lệch tín hiệu không đủ (xem C.9.2), khi đó cần thay đổi các thông số ban đầu cho đến khi kết quả cho phép thực hiện phép thử.

Hình C.1 - Sơ đồ xác định các thông số thử nghiệm

...

...

...

Tốc độ không khí trung bình, w_p, trong đầu đo được tính từ lưu lượng trong đầu đo và diện tích mặt cắt ngang như được nêu Công thức (C.3):

(C.3)

Trong đó:

V_p là lưu lưu lượng thể tích trong đầu đo;

A_p là mặt cắt ngang của đầu đo.

Giá trtính được phải so sánh được với tốc độ không khí trung bình  so với diện tích đi qua sau phin lọc. Độ lệch giữa hai tốc độ không được vượt quá 25 % (xem 6.3.1).

Nếu lưu lượng của đầu đo thay đổi, khi đó tốc độ (speed) trong đầu đo có thể điều chỉnh theo tốc độ trong diện tích đi qua.

C.6  Chọn tốc độ đầu đo

...

...

...

Có thể tính thời gian, t_leak đầu đo đi ngang qua rò rỉ sử dụng tốc độ đo đã chọn, u_p, theo Công thức (C.4):

(C.4)

Trong đó:

a_p là chiều rộng của miệng đầu đo theo hướng quét;

u_p là tốc độ của đầu đo.

Có thể xác định tổng thời gian quét, t_p.tot, trong khi thử nghiệm quét.

Tốc độ đếm phải được xác định ít nhất trong các khoảng thời gian (khoảng thời gian đếm ∆t _i) tương ứng với thời gian đầu đo đi qua chiều rộng, a_p, của miệng đo. Các đặc tính truyền dẫn của máy đếm hạt và điện tử đánh giá phải đáp ứng các yêu cầu này. Độ không đảm bảo trong việc xác định khoảng thời gian đếm phải nhỏ hơn 10 %.

Nếu có rò rỉ sảy ra ở mép đầu đo tại thời điểm bắt đầu khoảng thời gian đếm, khi đó tất cả các hạt đi qua chỗ rò rỉ trong khoảng thời gian này được ghi lại. Tuy nhiên, nếu ví dụ như có sự rò rỉ ở giữa khoảng thời gian đầu đo đi qua, thì số đếm rò rỉ được trải đều trên hai khoảng thời gian đếm. Do đó, nên kết hợp hai khoảng thời gian đếm gần nhau để đánh giá.

...

...

...

(C.5)

Trong đó:

u_p là tốc độ của đầu đo;

a_p là chiều rộng miệng đo theo hướng chuyển động.

C.7  Nồng độ sol khí tối thiểu

Nồng độ sol khí tối thiểu là giá trị tối đa cho phép quy định trong các Công thức từ (C.6) đến (C.9). Nồng độ sol khí tối thiểu, c_u,min, để nhận biết rò rỉ phải đáp ứng điều kiện trong Công thức (C.6):

(C.6)

...

...

...

N_min là tốc độ đếm tối thiểu cho rò rỉ tại giữa đầu đo;

P_class,l là giá trị giới hạn đối với sự thấu qua cục bộ của loại phin lọc;

t_leak là thời gian tiêu tốn do đầu đo trên rò rỉ;

V_s là lưu lượng lấy mẫu.

Nồng độ sol khí tối thiểu, c_u,min, cần để đảm bảo tốc độ đếm tối thiểu đã yêu cầu trong các máy đếm hạt sau phin lọc phải đáp ứng điều kiện nêu trong Công thức (C.7):

(C.7)

Trong đó:

P_eff,i là giá trị hiệu suất thấu qua tổng thể;

...

...

...

V_s là lưu lượng lấy mẫu.

Vì giá trị hiệu suất thấu qua của phin lọc thử nghiệm, P_effi, có thể thấp hơn đáng kể so với giá trị giới hạn thấu qua cục bộ, P_class,i, nên cần sử dụng giá trị hiệu suất đối với Công thức (C.7). Nếu giá trị hiệu suất chưa được biết từ các phép đo trước đó, thì phải dự toán hoặc được xác định bằng cách đo.

Ngoài ra các điều kiện biên đối với nồng độ sol khí tối thiểu, c_u,min, để đạt N_min,abs phía sau phin lọc được cung cấp cùng với các máy đếm hạt. Đối với máy đếm sau phin lọc, điều kiện này được đưa ra trong Công thức (C.8):

(C.8)

Trong đó:

P_eff,i là giá trị hiệu suất thấu qua tổng thể;

N_min,abs là 100 [= số hạt tối thiểu (xem C.1)];

V_s là lưu lượng lấy mẫu;

...

...

...

Nồng độ sol khí tối thiểu, c_u,min, để đạt được N_min,abs trước phin lọc là điều kiện được đưa ra trong Công thức (C.9):

(C.9)

Trong đó:

k_D là hệ số pha loãng, trước phin lọc;

N_min,abs là 100 [= số hạt tối thiểu (xem C.1)];

V_s là lưu lượng lấy mẫu;

t_p,u là thời gian lấy mẫu trước phin lọc.

C.8  Nồng độ sol khí tối đa

...

...

...

Để tránh thay đổi sự phân bố cỡ hạt sol khí thử nghiệm do đông tụ, thì nồng độ tối đa, c_u,max theo Công thức (C.10) không được vượt quá:

c_u,max ≤ 10⁷.cm^-3

(C.10)

Nồng độ tối đa, c_u,max, có thể đo được bằng máy đếm hạt cho hai điều kiện biên.

Đối với các máy đếm phía sau phin lọc, điều kiện như trong Công thức (C.11):

(C.11)

Trong đó:

c_max,c là nồng độ tối đa có thể đo được bằng máy đếm hạt phía sau phin lọc;

...

...

...

Tương ứng, đối với nồng độ tối đa, c_umax, đối với máy đếm trước phin lọc, thì điều kiện được đưa ra trong Công thức (C.12):

c_u,max ≤ c_max,c.k_D

(C.12)

Trong đó:

C_max,c là nồng độ tối đa có thể đo được bằng máy đếm hạt ở trước phin lọc;

k_D là hệ số pha loãng ở vị trí trước phin lọc.

C.9  Tín hiệu rò rỉ

C.9.1  Giá trị hiệu suất

Số lượng hạt dự kiến tối thiểu, N_min,em, đối với tốc độ đếm khi đầu đo qua rò rỉ ở giữa đường đo được tính theo Công thức (C.13):

...

...

...

(C.13)

Trong đó:

c_u là nồng độ đo được trước phin lọc;

P_class,l giá trị giới hạn thấu qua cục bộ;

V_s là lưu lượng lấy mẫu;

t_leak là thời gian đầu đo đi qua rò rỉ.

Đối với sự rò rỉ ở các mép đường, thì số lượng hạt tối thiểu dự kiến, N_min.eb, được tính bằng Công thức (C.14):

N_min,eb = N_min.em.k_b

(C.14)

...

...

...

N_min,em là số lượng hạt tối thiểu dự kiến đối với rò rỉ ở giữa đường đo;

k_b là hệ số thất thoát đối với rò rỉ ở mép đường đo.

Giá trị tối thiểu thống kê đối với mức tin cậy 95 % của N_min,eb được xác định phù hợp với TCVN 11487-2 (ISO 29463-2) và N_min,eb,95%. Khi giá trị này được đạt được, thiết bị phải báo cáo là có sự rò rỉ (giá trị tín hiệu rò rỉ).

C.9.2  Chênh lệch tín hiệu

Thuật ngữ chênh lệch tín hiệu đề cập đến sự chênh lệch giữa giá trị tín hiệu rò rỉ và tín hiệu tổng hợp từ tốc độ dòng hạt đối với phần của phin lọc không có rò rỉ.

Giá trị trung bình dự kiến đối với số hạt, N_em, khi đầu đo đi qua một phần của phin lọc có sự thấu qua tương ứng chính xác với giá trị giới hạn của loại phin lọc được cho bởi Công thức (C.15):

N_em = c_u .P_class,i .V_s .t_leak

(C.15)

Trong đó:

...

...

...

P_class,i là giá trị thấu qua toàn bộ;

V_s là lưu lượng lấy mẫu;

t_leak là thời gian đầu đo đi qua chỗ rò rỉ.

Giá trị thống kê tối đa về mức tin cậy 95 % của N_em được xác định phù hợp với TCVN 11487-2 (ISO 29463-2) và N_em,95%1.

Chênh lệch tín hiệu, S, được xác định theo Công thức (C.16):

S = N_min,eb,95% - N_eb,95%

(C.16)

Trong đó:

N_min,eb,95% là giá trị giới hạn dưới của mức tin cậy 95 % đối với tốc độ đếm tối thiểu khi đi qua chỗ rò rỉ tại cạnh của đường đo;

...

...

...

Giá trị S dương có thể được coi là chênh lệch tín hiệu đầy đủ. Nếu giá trị S là âm, thì số lượng tín hiệu rò rỉ giả bị tăng có thể có trong phép thử quét.

Các thông số thử nghiệm điển hình đối với phin lọc loại ISO 45 H được tóm tắt trong Phụ lục D.

Phụ lục D

(Tham khảo)

Ví dụ về ứng dụng đánh giá

Các thông số thử nghiệm điển hình đối với phin lọc loại ISO 45 H được tóm tắt trong Bảng D.1.

Bảng D.1 - Các thông số thí nghiệm điển hình đối với phin lọc loại ISO 45 H

Thông số

Ký hiệu

...

...

...

Dữ liệu về phin lọc thử nghiệm

Loại phin lọc

-

ISO 45 H

Giá trị giới hạn về sự thấu qua tổng thể

P _class.i

0,005 %

Giá trị giới hạn về sự thấu qua cục bộ

P _class.I

...

...

...

Kích thước của phần tử lọc

-

1 220 mm x 610 mm x 78 mm

Kích thước gói gấp

-

1 190 mm x 580 mm

Lưu lượng thể tích danh nghĩa

V

1 205 m³/h

...

...

...

0,485 m/s

Nồng độ hạt:

Trước phin lọc

1,73 x 10⁴cm³

Sau phin lọc, tổng thể

0,87 cm^-3

Sau phin lọc, cục bộ

4,33 cm^-3

...

...

...

Kích thước miệng đầu đo

a_p x b_p

18 mm x 50 mm

Lưu lượng thể tích trong đầu đo

V_p

28,3 L/min

Tốc độ không khí trung bình trong đầu đo

0,524 m/s

...

...

...

u_p

30 mm/s

Thời gian đầu đo đi qua rò rỉ

t_leak

0,6 s

Thể tích phân tích

-

283 cm³

Số lượng hạt dự kiến trên khoảng thời gian ∆t_i

...

...

...

N_em

245

Có rò rỉ

N_min.em

1 225

Có rò rỉ; hệ số hao hụt, k_b = 0,7

N_min.eb

857

Giá trị giới hạn từ thống kê Poisson

...

...

...

N_{em,95 %}

276

Số lượng hạt tối thiểu có rò rỉ

N_{min,eb,95 %}

800

Giá trị tín hiệu

N_{min.eb,95 %}

800

Chênh lệch tín hiệu.

...

...

...

524

Mối quan hệ giữa các thông số thử nghiệm riêng rẽ và việc xác định giá trị tín hiệu với chênh lệch tín hiệu được thể hiện ở dạng đồ thị trong Hình D.1

Hình D.1 - Xác định giá trị tín hiệu và tín hiệu khác nhau từ các thông số thử nghiệm đối với phin lọc loại ISO 45 H

Trong Bảng D.2, các thông số thử nghiệm quan trọng nhất của phin lọc loại ISO 35 H đến ISO 75 U được so sánh.

Bảng D.2 - So sánh các thông số thử nghiệm quan trọng nhất đối với phin lọc loại ISO 35 H đến loại ISO 75 U.

Thông số

Ký hiệu

Đơn vị

...

...

...

ISO 35 H

ISO 40 H

ISO 45 H

ISO 55 U

ISO 65 U

ISO 75 U

...

...

...

P_class,i

0,05

-

0,005

0,000 5

0,000 05

0,000 005

Giá trị giới hạn đối với sự thấu qua cục bộ

...

...

...

0,25

-

0,025

0,002 5

0,000 25

0,000 1

Nồng độ hạt trước phin lọc

c_u

...

...

...

4,40 x 10³

-

1,73 x10⁴

3,31 x 10⁴

8,41 x 10⁴

1,54 x10⁵

Tốc độ đầu đo

u_p

mm/s

...

...

...

-

30

30

12

12

Thời gian đếm

∆t_i

s

0,6

...

...

...

0,6

0,6

1,5

1,5

Thể tích được phân tích

-

cm³

283

-

...

...

...

283

708

708

Số lượng hạt dự kiến

Không rò rỉ

N_em

-

623

-

...

...

...

47

30

5

Có rò rỉ

N_min.em

-

3113

-

1 225

...

...

...

149

109

Không rò rỉ, k_b = 0,7^a

N_min.eb

-

2179

-

857

164

...

...

...

76

Số lượng hạt tối đa không rò rỉ

N_{em,95 %}

-

672

-

276

60

43

...

...

...

Số lượng hạt tối thiểu có rò rỉ

N_{min,eb,95 %}

-

2 086

-

800

139

84

59

...

...

...

N_min,eb,95%

-

2 086

-

800

139

84

59

Chênh lệch tín hiệu

...

...

...

-

1413

-

524

79

41

47

Nồng độ sol khí tối thiểu

c_u,min

...

...

...

1,55 ж 10²

-

1,98 x10²

1,98 x10³

8,48 x 10³

8,48 x 10⁴

Nồng độ sol khí tối đa

c_u,max

cm^-3

...

...

...

-

2,12 x10⁴

2,12 x 10⁵

4,55 x 10⁵

4,55 x 10⁵

^a Đối với rò rỉ tại mép đường đo, k_b = 0,7.

Phụ lục E

(Tham khảo)

...

...

...

E.1  Đặt vấn đề

Đặc biệt trong ngành công nghiệp bán dẫn và ngành công nghiệp không gian, cùng với các ngành khác, chất lỏng giống như dầu có thể được coi là một nguy cơ tiềm ẩn và do đó, có thể không được phép để thử nghiệm phin lọc nhóm H và nhóm U, để sử dụng trong các phòng sạch trong các ngành công nghiệp. Các hạt thể lỏng được thu thập và tích lũy trong phin lọc trong khi thử nghiệm và cuối cùng có thể thải khí trong quá trình vận hành của phin lọc. Khí thải này có thể ảnh hưởng đến quá trình sản xuất. Việc sử dụng các hạt thể lỏng trong quá trình kiểm tra rò rỉ phin lọc với vật liệu lọc màng PTFE cũng có thể không thích hợp, vì những tính chất vật chất cụ thể của vật liệu lọc này.

Tất cả các phương pháp chuẩn để thử nghiệm rò rỉ và thử nghiệm hiệu suất và phân loại theo TCVN 11487 (ISO 29463) (tất cả các phần) được dựa trên việc sử dụng các hạt thể lỏng như sol khí thử (DEHS, PAO, dầu paraffin). Việc sử dụng các hạt thể lỏng như DEHS là dễ dàng và cho kết quả tái lập. Các sol khí thử nghiệm sử dụng ảnh hưởng lên tất cả các nội dung quy định của bộ TCVN 11487 (ISO 29463) (tất cả các phần): tất cả các thiết bị, dụng cụ thử nghiệm, các thống kê, kết quả thử nghiệm và phân loại. Do đó, sol khí thử nghiệm dạng lỏng không thể chỉ đơn giản là được thay thế bằng sol khí thể rắn mà không ảnh hưởng lớn trên tất cả các khía cạnh của kết quả thử nghiệm và phân loại phin lọc.

Do đó, phụ lục này được tạo ra để mô tả phép thử rò rỉ thay thế và phương pháp phân loại đối với phin lọc mà cần thử nghiệm với các hạt thể rắn. Phụ lục này định nghĩa phép thử rò rỉ thay thế (phương pháp quét) với sol khí PSL thể rắn. Tuy nhiên, việc xác định hiệu suất và phân loại vẫn theo TCVN 11487-1 (ISO 29463-1), sử dụng phương pháp thử nghiệm tham chiếu với sol khí DEHS thể lỏng.

E.2  Khái quát

Nếu sử dụng sol khí thử nghiệm thể rắn như PSL cho quy trình quét, hiệu suất được tính từ nồng độ hạt trung bình trước và sau phin lọc, không được sử dụng để phân loại phin lọc theo TCVN 11487-1 (ISO 29463-1). Giá trị này đối với hiệu suất tổng thể sẽ không phù hợp với hiệu suất xác định được với sol khí tham chiếu DEHS thể lỏng, do hiệu ứng tĩnh điện.

Sol khí PSL có thể là sol khí MPPS, cỡ hạt sol khí đơn phân tán 0,14 μm hoặc sol khí PSL đa phân tán (90 % nồng độ hạt phải nhỏ hơn 0,3 μm), vì cỡ hạt sol khí không ảnh hưởng đáng kể đến kết quả của phép thử rò rỉ.

Quy trình quét với sol khí thử nghiệm thể rắn chỉ được sử dụng cho việc xác minh không có rò rỉ trong phin lọc. Chúng được coi là các giá trị biên, tương ứng với các giá trị về sự thấu qua rò rỉ tối đa theo Bảng 1 của TCVN 11487-1:2016 (ISO 29463-1:2011) cho mỗi loại phin lọc.

Để phân loại phin lọc, cần lấy ra một lượng đại diện của các phin lọc từ cùng một lô sản xuất cùng để thử nghiệm hiệu suất phù hợp với TCVN 11487-5 (ISO 29463-5) (phương pháp thử tham chiếu với sol khí DEHS). Những phin lọc này đề cập đến hiệu suất và phân loại tiếp theo theo TCVN 11487-1 (ISO 29463-1) cho toàn bộ lô hàng. Sau đó, tất cả phin lọc khác chỉ thử rò rỉ PSL theo phụ lục này. Các quy định kỹ thuật và dữ liệu thử nghiệm (kích thước phin lọc và thiết kế, dòng không khí thử nghiệm v.v...) của phin lọc tham chiếu (đã được thử nghiệm DEHS) và phin lọc thử nghiệm PSL phải hoàn toàn giống nhau.

...

...

...

Để thử nghiệm rò rỉ PSL theo phụ lục này, thiết bị và quy trình thử nghiệm đối với sol khí DEHS nêu trong phần chính của tiêu chuẩn này có thể được sử dụng. Chỉ trừ việc áp dụng cho các kiểu và cách sử dụng của máy tạo sol khí, là sẽ khác nhau do sol khí PSL. Nhiệm vụ chính là đạt được các mức nồng độ đủ đối với hạt PSL trong không khí trước phin lọc, trong trường hợp các hạt PSL, yêu cầu thiết bị tạo sol khí đặc biệt.

Hình E.1 và Hình E.2 đưa ra các ví dụ về thiết kế cụ thể của một máy tạo hạt PSL-sản lượng cao, hoạt động với nhũ tương PSL-nước, với vòi phun và một phần làm khô tương ứng.

CHÚ DẪN:

1 Lò xo

2 Mũi

3 Không khí nén tại áp suất P

4 Các giọt sol khí

5 Chất lỏng

...

...

...

CHÚ DẪN:

1 Vòi phun 1

2 Lưu lượng kế

3 Huyền phù thể rắn

4 Bộ gia nhiệt và quạt

5 Phần làm mát và ngưng tụ, ống 100 mm bằng nhôm, chiều dài ống khoảng 25 m

6 Bẫy nước

7 Đầu ra sol khí

...

...

...

9 Không khí nén sạch

Hình E.2 - Thiết kế máy tạo PSL

E.3.1  Mô tả thiết kế

Vòi phun 1 phun dung dịch lỏng (hạt PSL với nước sạch) với sự hỗ trợ của không khí nén sạch áp suất, P đi vào buồng. Buồng này được cung cấp không khí nóng HEPA đã lọc ở nhiệt độ T₁ để có được sự phân bố nhanh và bốc hơi nước. Không khí nóng được tạo ra bằng bộ gia nhiệt có điều chỉnh và quạt với lưu lượng không khí từ 40 m³/h đến 50 m³/h. Không khí sau đó đi qua phần làm mát/ngưng tụ, trong đó nhiệt độ không khí giảm đến T₂ và độ ẩm tới độ ẩm tương đối, RH. Bẫy nước (thùng chứa) lấy hết nước dư từ bộ phận làm mát và giảm nguy cơ nước tràn vào hệ thống thử nghiệm.

E.3.2  Khuyến nghị lắp đặt vận hành

Áp dụng như sau:

a) T₁

100 ^oC đến 175 ^oC;

b) P

...

...

...

c) q

5 mL/min đến 25 mL/min;

d) T₂

20 ^oC đến 23 ^oC (tốt nhất là bằng hoặc thấp hơn nhiệt độ không khí thử nghiệm);

e) RH

> 0 %.

E.4  Báo cáo thử nghiệm

Báo cáo thử nghiệm, ngoài các yêu cầu quy định trong Điều 9, phải có thêm các thông tin sau:

a) Thông báo rằng phin lọc đã được thử nghiệm rò rỉ sử dụng phương pháp thử phù hợp với phụ lục này và hiệu suất thử nghiệm dựa trên cơ sở thống kê;

...

...

...

c) Máy tạo sol khí được sử dụng;

d) Thông báo rằng nồng độ hạt PSL trung bình không thể được sử dụng để phân loại phin lọc.

Phụ lục F

(Tham khảo)

Phép thử rò rỉ hiệu suất cỡ hạt từ 0,3 μm đến 0,5 μm

F.1  Khái quát chung

Vì phép thử rò rỉ mạch dầu (Phụ lục A) là phép thử trực quan, các kết quả phát hiện rò rỉ có thể khác nhau giữa những người thực hiện phép thử hoặc có thể khác nhau giữa thời điểm bắt đầu và thời điểm kết thúc của người thực hiện. Mục đích của phép thử nêu trong phụ lục này là để phát hiện các rò rỉ tự động bằng cách đo hiệu suất tổng thể trong dải cỡ hạt khoảng từ 0,3 μm đến 0,5 μm.

F.2  Khái quát

Phương pháp đo hiệu suất này sử dụng máy đếm hạt trong kênh có cỡ hạt từ 0,3 μm đến 0,5 μm đối với phin lọc loại ISO 35 H về rò rỉ để thay thế thử nghiệm rò rỉ mạch dầu (Phụ lục A). Phép thử hiệu suất rò rỉ cỡ hạt từ 0,3 μm đến 0,5 μm có thể được sử dụng như một quy trình tham chiếu cho phin lọc loại ISO 35 H với dòng chảy rối mà không thể thử nghiệm quét được vì hình dạng của chúng (ví dụ như phin lọc dạng khối chữ V hoặc phin lọc hình trụ).

...

...

...

E.3  Quy trình

Đối với việc phân loại theo TCVN 11487-1 (ISO 29463-1), những phin lọc này được đặt vào bộ phận đo hiệu suất MPPS toàn phần, ví dụ: theo TCVN 11487-5 (ISO 29463-5). Phép thử hiệu suất cỡ hạt từ 0,3 μm đến 0,5 μm có thể được thực hiện cùng thời điểm và trong cùng điều kiện, sử dụng kênh cỡ hạt tương ứng của máy đếm hạt. Điều cơ bản là cần có sự phân bố tốt sol khí trước phin lọc và có sự pha trộn tốt của không khí sau phin lọc của phin lọc để thực hiện phép thử này.

Nếu sử dụng sol khí đa phân tán, thì về cơ bản giống như dùng để đo hiệu suất MPPS tổng thể theo TCVN 11487-5 (ISO 29463-5). Tuy nhiên, phép thử hiệu suất rò rỉ sử dụng cỡ hạt từ 0,3 μm đến 0,5 μm, cần có đủ cỡ hạt từ 0,3 μm đến 0,5 μm trước phin lọc. Do đó, sol khí đơn phân tán là không phù hợp. Để có phép đo chính xác, cần lấy mẫu nhiều hơn 10 hạt trong dải cỡ hạt từ 0,3 μm đến 0,5 μm sau phin lọc của phin lọc. Vì vậy cần phải có tối thiểu 2 500 000 hạt trong dải kích thước từ 0,3 μm đến 0,5 μm trước phin lọc trên mỗi khoảng thời gian lấy mẫu.

F.4  Tiêu chí rò rỉ

Đối với các lớp loại ISO 35 H (hiệu suất MPPS cục bộ > 99,75 %), thì hiệu suất tổng thể đối với dải kích thước từ 0,3 μm đến 0,5 μm phải > 99,9996 %.

F.5  Kiểm tra xác nhận các quy trình thử

Cần kiểm tra xác nhận độ nhạy và độ chính xác của quy trình tại các khoảng thời gian đều đặn sử dụng phin lọc tham chiếu với rò rỉ được xác định rõ được đặc trưng bằng phương pháp thử quét rò rỉ. Sự thấu qua cục bộ của các rò rỉ này không được vượt quá giá trị giới hạn quy định đối với cái lọc loại H ISO 35 quá hai lần. Để xác minh đầy đủ sự phân bố sol khí trước phin lọc và hiệu quả của sự pha trộn của không khí sau phin lọc của phin lọc, quy trình cũng phải được kiểm tra định kỳ sử dụng phin lọc tham chiếu với rò rỉ đã được xác định rõ trong một góc khung và ở gần khung/chất làm kín. Những phin lọc này có thể được đặc trưng bằng phép thử rò rỉ mạch dầu. Tuy nhiên, những rò rỉ này không được vượt quá giá trị giới hạn quy định cho phin lọc loại H ISO 35 hai lần. Tốt nhất, phin lọc này có dạng hình vuông để chúng có thể được xoay 90^o và phép đo có thể được lặp lại bốn lần. Sự phân bố sol khí và sự pha trộn sau phin lọc tốt là điều cần thiết để nhận biết những phin lọc có rò rỉ theo các tiêu chí đã cho.

F.6  Báo cáo

Bất cứ loại phin lọc ISO 35 nào được thử nghiệm rò rỉ sử dụng phép thử hiệu suất rò rỉ trong dải cỡ hạt từ 0,3 μm đến 0,5 μm, thì phải được ghi lại trên phin lọc và trong các báo cáo thử nghiệm (ví dụ như ghi rõ là “rò rỉ đã được thử nghiệm phù hợp với Phụ lục F của TCVN 11487-4:2016 (ISO 29463-4:2011)”. Trong báo cáo thử nghiệm, cần ghi rõ hiệu suất thực tế được đo tại dải cỡ hạt từ 0,3 μm đến 0,5 μm.

...

...

...

(Tham khảo)

Tính toán kiểm chứng bằng sol khí

Phụ lục này đưa ra phương pháp xác định nồng độ gần đúng của kiểm chứng bằng sol khí thử nghiệm. Phương pháp này chỉ có thể được sử dụng khi thực tế không thu được mẫu trước phin lọc đại diện. Phương pháp này có thể dẫn đến hiểu biết thiếu chính xác nồng độ trước phin lọc và đưa ra quyết định kích thước của rò rỉ kém chính xác. Nồng độ sol khí được tính từ năng suất của máy tạo sol khí đã biết trước và dòng khí qua thiết bị làm sạch không khí đã biết trước. Các giá trị được cung cấp cho năng suất vòi phun Laskin điển hình khi sử dụng DOP. Các máy tạo sol khí khác hoặc vật liệu khác có thể được sử dụng nếu đã có sẵn thông tin đầu ra tương tự.

G.1  Phép tính khi đã biết năng suất đi vào thể tích dòng không khí

G.1.1  Các giá trị sau đây đã biết:

a) Năng suất của máy tạo sol khí:

1) C₁ được biểu thị bằng microgam trên lít hoặc số lượng trên lít trên vòi phun, khi được xả vào dòng chảy Q₁ biểu thị bằng mét khối trên phút,

2) N, số lượng vòi phun được sử dụng.

b) Dòng không khí đi qua thiết bị làm sạch không khí Q₂ tính bằng mét khối trên phút.

...

...

...

(G.1)

G.1.3  Nếu sử dụng quang kế, thì phải chỉnh sao cho thể hiện toàn bộ thang đo C₂ tính bằng microgam trên lít, sử dụng dữ liệu hiệu chuẩn từ nhà sản xuất máy quang kế sol khí.

G.2  Phép tính khi đã biết năng suất trên một đơn vị thời gian

G.2.1  Các giá trị sau đây đã biết:

a) Năng suất của máy tạo sol khí:

1) E tính bằng microgam trên phút hoặc số lượng trên phút trên mỗi vòi phun,

2) N, số lượng vòi phun được sử dụng:

b) Dòng không khí đi qua thiết bị làm sạch không khí Q₂ tính bằng mét khối trên phút.

...

...

...

(G.2)

Trong đó “1000” là hệ số chuyển đổi mét khối sang lít.

G.2.3  Nếu sử dụng quang kế, thì phải chỉnh sao cho thể hiện toàn bộ thang đo C₂ tính bằng microgam trên lít, sử dụng dữ liệu hiệu chuẩn từ nhà sản xuất quang kế.

G.3  Ví dụ về sử dụng vòi phun Laskin và quang kế sol khí

G.3.1  Các sol khí trong ví dụ này được tạo ra bằng thiết bị vòi phun Laskin sử dụng hai vòi phun vận hành ở áp suất 138 kPa với DOP. Các chất lỏng khác có thể cho kết quả khác nhau. Nồng độ xấp xỉ 10 μg/L không khí được tạo ra trong dòng 38 m³/min. Nguồn khí nén có khả năng cung cấp 75 L/min không khí (thể tích ở các điều kiện tiêu chuẩn) tại 138 kPa là cần thiết cho mỗi vòi phun Laskin. Nồng độ này tương đương với khoảng 3 x 10⁷ giọt trên mỗi lít không khí.

G.3.2  Các giá trị sau đây đã được biết:

a) Năng suất của máy tạo sol khí:

1) C₁ 10 μg/L trên vòi phun khi được xả vào dòng chảy Q₁ mét khối trên phút,

...

...

...

3) N sử dụng hai vòi phun;

b) Dòng không khí đi qua thiết bị làm sạch không khí Q₂ = 56 m³/min.

G.3.3  Việc tính toán thực hiện theo Công thức (G.3):

μg/L

(G.3)

Điều chỉnh quang kế sol khí sao cho toàn bộ thang đo thể hiện ~14 μg/L sử dụng dữ liệu hiệu chuẩn từ nhà sản xuất quang kế sol khí.

Thư mục tài liệu tham khảo

[1] WEPFER, R., Characterisation of HEPA and ULPA filters by proposed new European test methods, Filtration & Separation, pp. 545-550, 1995

[2] EN 1822-1, High efficiency air filters (EPA, HEPA and ULPA) - Part 1: Classification, performance testing and marking

...

...

...

[4] EN 1822-3, High efficiency air filters (EPA, HEPA and ULPA) - Part 3: Testing flat sheet filter media

[5] EN 1822-4, High efficiency air filters (EPA, HEPA and ULPA) - Part 4: Determining leakage of filter elements (scan method)

[6] EN 1822-5, High efficiency air filters (EPA, HEPA and ULPA) - Part 5: Determining the efficiency of filter elements

[7] IESTRPCC001, HEPA and ULPA Filters, Inst, of Env. Science and Technology, Arlington Hts, IL, USA

[8] IEST RP CC 007, Testing ULPA filters, Inst, of Env. Science and Technology, Arlington Hts, IL, USA

[9] IEST RP CC 013, Calibration Procedures and Guidelines for Select Equipment Used in Testing Cleanrooms and Other Controlled Environments, Inst, of Env. Science and Technology, Arlington Hts, IL, USA

[10] IEST RPCC 021, Testing HEPA and ULPA Media, Inst of Env. Science and Technology, Arlington Hts, IL, USA

[11] IEST RPCC 034, Leak Testing HEPA and ULPA filters, Inst, of Env. Science and Technology, Arlington Hts, IL, USA

[12] ISO 14644-3, Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods

...

...

...

Tiêu chuẩn quốc gia TCVN 11487-4:2016 (ISO 29463-4:2011) về Phin lọc hiệu suất cao và vật liệu lọc để loại bỏ hạt trong không khí - Phần 4: Phép thử xác định rò rỉ của các phần tử lọc - Phương pháp quét